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在线颗粒计数器

品牌：美国pss

型号：FMS AccuSizer 780 OL-ND 在线颗粒计数器

产地：美国


适用于化学机械抛光液(CMP SLURRY)、乳剂、墨水

  • 技术参数
  • 性能特点
  • 应用范围
  • 相关下载

Model Type

FMS Online Particle Analyzer

Analysis Principle

Light Obstruction (SPOS)

Size Range

LE400-05 0.5pm-400pm;

Sample Type

Aqueous/Organic

Flow Rate

30/60 ml/min.;

Maximum Sample in/Out Tube Length

<3000mm / <3000mm

Flow Rate Accuracy

±5% ;

Diameter Accuracy

±5% ;

Count Accuracy

±10%

Maximum Concentration

10000 Particle/mL

Output File Type

CSV File

Sampling Mode

Auto

Auto Sampler

√

Online Monitor

√

Sampler Dimension(length*width*height)

18 inches x 14 inches x 20 inches

Self-defining Date Channel

16

Power Req.

220-240 VAC, 50Hz

Compatible Windows Software

√

Computer Configuration

Central LIMS XComputer


仪器型号：FMS AccuSizer 780 OL-ND

工作原理：单颗粒光学传感技术（Single Particle Optical Sizing，SPOS）

检测范围： 0.5 μm – 400 μm / 0.15μm - 20 μm


FMS AccuSizer 780 OL-ND 在线颗粒计数器使用基于光阻法的单颗粒光学传感技术（SPOS）原理，对检测样本不仅仅可以给出粒度分布（PSD），更可以获得颗粒数量（COUNT）。在线设备可以提供更加快捷、有效的实时监控，但是往往被自动取样、自动检测的难题所困扰。美国PSS粒度仪所设计的FMS AccuSizer 780 OL-ND（Online-No Dilution）在线颗粒计数器完美解决了这两大难题。该仪器全自动化工作，无需人工进样。在某些行业中已经有成熟应用案例，如液晶面板行业的掩膜版清洗液流程实时监控清洗液的洁净度。 

医药行业中液体制剂其粒度分布是影响其产品最重要的因素之一。传统方法都是取样进行离线监测，但是造成的问题是一旦产品检测质量不合格，造成损耗巨大。PSS在线粒度仪可以完美解决此类问题，将颗粒检测融入在线监测中，只放行合格样品。


技术优势

  • No Cross-contamination (无交叉污染)

  • Independent parameter control table for each system (每机子独立控制界面)

  • Central LIMS Computer control (中央远程控制)

  • Small Footprint (小巧便捷便于安装)

  • Real Time Monitoring(实时检测)

  • 16 User Defined Channel (16个用户自定义通道)

  • Custom made (定制服务)



数据呈现形式


User can define channel according to the need and print

to the report. Such as user sets date channel 0.6μm，1.0μm，1.6μm，2.5μm…

客户可以根据自己的需要选取想要关注的数据通道，从512个通道中自由选择。

image.png


1、单颗粒光学传感技术简介

      单颗粒光学传感技术（Single Particle Optical Sizing, SPOS）是一种用于测量溶剂中悬浮粒子的大小和数量浓度的激光粒度检测通用技术。在SPOS技术中液体悬浮液中的粒子流经传感器的样品池时，在激光光源的照射下，被阻挡或者被散射的光会转变成脉冲电压信号，脉冲信号的大小是由粒子的截面面积和物理判定规则即光散射或者光阻共同决定的。光阻也被称为不透光度或者光消减。而粒子间的相互阻挡和散射是和粒子的大小和浓度是有关系的，利用脉冲幅度分析器和校准曲线便可以得到悬浮粒子的数量浓度和粒度大小分布。传统光阻法可以测得1.5μm以上的粒子和并具有较高的分辨率。

      单颗粒传感技术（SPOS）填补了常见粒度仪检测技术在检测粒径分布中的重要不足—粒子数量的统计。自AccuSizer 780系列仪器诞生，以往以牺牲精确性和分辨率来换取检测速度和易用的历史一去不复返！

粒粒皆清楚，不丢失任何细节。


2.传统光阻法与光散射法原理

图片6.png

Figure 1 光阻法检测示意图

      图1为光阻法检测原理图，待测液体流过横截面很小的流通池，流通池两侧装有光学玻璃，激光器的光束通过透镜组准直，光束穿过流通池并被光电探测器所接收。若待测液体中没有颗粒，则光电探测器接收到的光信号稳定不变，输出的电压信号也恒定，将此恒定信号作为基准电压；若液体中有颗粒物质，颗粒通过流通池传感区域，将会遮挡激光，光电探测器接收到的光信号减小，产生一个负的脉冲电信号，如下图2所示。

图片7.png

Figure 2 光电二极管信号

      脉冲信号幅度与基准电压信号有如下关系：

                       图片11.png                （1）                        

      式（1）中：E为颗粒遮挡引起的脉冲幅度；a为颗粒的有效遮挡面积（等效为球形）;A为光电探测器的有效面积；E0是没有颗粒时的光电探测器所产生的基准电压。因此，脉冲信号幅度对应颗粒的大小，脉冲信号个数对应颗粒的数量。


图片8.png

Figure 3 光散射法检测原理图


      图3为光散射法检测原理图，待测液体流过流通池，流通池两侧装有光学玻璃，激光器的光束通过透镜组准直，光束穿过流通池，照射在光陷进上。若待测液体中没有颗粒，则光电探测器就收不到光信号，若液体中有颗粒，颗粒通过流通池，与激光光束发生散射现象。某一个（或几个）角度下的散射光通过透镜收集汇聚到光电探测器上，产生正的电信号脉冲，脉冲信号的幅度和散射光强成正比。根据信号的幅度和个数可以对液体中的微小颗粒进行计数检测。

      当光束照射含有悬浮微粒的液体时光能减弱。根据文献, 此时悬浮液中微粒会对光产生散射和吸收等作用,因为这些作用导致的光强减弱与微粒的浓度存在线性关系。在文献中引用了如下公式,来描述当微粒浓度较小时,透射光强与入射光强之间的关系:

                                    1577260612(1).jpg

      它对应于因为散射和吸收而导致光的衰减总量。有米氏散射的理论，随着微粒的增大，光强大量集中于前向0度角附近，图1中我们也可以注意到这一点。（4）式中没有考虑到这样的事实：在光阻法检测中，前向0角度附近的散射光仍然能够被探测器接收，因此必须考虑对散射系数进行修正。实际中（4）式变为：

           1577260670(1).jpg                   

3.PSS单颗粒光学传感技术简介

      经过光感区域的粒子由于大小不同，光强随之产生相应的变化。将探测器收集的光信号转换成电压信号，不同的电压信号对应不同的粒径大小，从而得到微粒的粒径。美国PSS粒度仪公司（Particle Sizing Systems）的单颗粒光学传感技术（Single Particle Optical Sizing，SPOS）是在传统光阻法（LE）大颗粒光学传感技术的基础上加入了激光散射模块（LS）。在两个模块（LE+LS）同时运行的情况下，检测下限由原来纯光阻的1.5μm下探至0.5μm。使得其在大颗粒检测领域的应用更加的广泛。

      SPOS技术对粒子的信号响应方式是信号与特定粒子相对应的。AccuSizer 780系列仪器中的传感器通过两种不同性质的物理作用：光消减（light extinction, LE）与光散射（light scattering, LS）对通过传感器的粒子进行测定。光消减技术检测通过流动池的光强变化，拥有检测粒子的粒径范围广且与粒子组份无关等优点。然而，它的灵敏度有限。另一方面，光散射技术具有相对窄的动态粒径范围 (取决于检测器/放大器的饱和值)，但能检测到小粒径的粒子，使用大功率激光光源还能检测到粒径更小的粒子。通过合并光消减和光散射响应信号，传感器可同时拥有这两种方法的优点，因而在不损失单粒子分辨率巨大优势的前提下拥有相对较广的动态粒径范围。

图片9.png


4. 在线检测原理图    

      微信截图_20200118150619.jpg


超纯溶剂

溶剂是一种可以溶化固体，液体或气体溶质的液体（气体、或固体）（溶剂、溶质都可以为固体、液体、气体），继而成为溶液。在日常生活中最普遍的溶剂是水。而所谓有机溶剂即是包含碳原子的有机化合物。溶剂通常拥有比较低的沸点和容易挥发。或是可以由蒸馏来去除，从而留下被溶物。因此，溶剂不可以对溶质产生化学反应。它们必须为惰性。溶剂可从混合物萃取可溶化合物，最普遍的例子是以热水冲泡咖啡或茶。溶剂通常是透明，无色的液体，他们大多都有独特的气味。

超纯水

超纯水（Ultrapure water）又称UP水，是指电阻率达到18 MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程

湿化学品

湿化学品是指各种元素组成的纯净物和混合物，无论是天然的还是人造的



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